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产品说明
产品参数
•机身材质 : 铝或不锈钢
•紧凑型设计
•使用维修部件套件轻松维护
•应用 : 半导体系统中的传输和工艺室隔离,适用于小于450mm的晶圆
| 阀门种类 | 传输阀(L-MOTION) |
| 操作模式 | 气动 |
| 法兰尺寸(ID) | 32X222/46X236/50X336/56X49 |
| 馈通件 | 焊接波纹管 |
| 阀盖密封 | Viton 0-Ring/Vulcanized Seal |
| 阀盖密封 | Viton 0-Ring |
| 响应时间 | ≤2 sec |
| 工作压力范国 | 1 x10E-8 mbar to 1200 mbar |
| 开启时压差 | ≤30 mbar |
| 间门上的压差 | ≤1200 mbar |
| 泄漏率 | 不锈钢:1x10E-9 mbar lsec 铝合金:1x10E-9mbar lsec |
| 使用寿命 |
≥ 1,000,000 |
| 阀门阀体温度 | ≤200℃ |
| 执行器温度 | ≤80°C |
| 金属件耐温 | ≤200°C |
| 材质 | 304不锈钢/硬质阳极氧化铝 |
| 安装位置 | 任何位置 |
| 工作压力(N2) | 4~7 bar |
营业执照
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