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产品说明
产品参数
•机身材质 : 铝或不锈钢
•紧凑型设计
•使用维修部件套件轻松维护
•应用领域: 半导体系统中的传输和工艺室隔离,适用于小于 450mm的晶圆
| 条件及规格 | 传输阀 | |||
| 尺寸大小 | 32 X 222/46 X 236/50 X 336/56 X 496（mm） | |||
| 材质 | 阀体 | Aluminum or Stainless steel | ||
| 阀门 | AI6061 | |||
| 阀盖&制动器 | AI6061 | |||
| 馈通 | 焊接波纹管 | |||
| 驱动系统 | STS304/AL6061/Etc | |||
| 密封材质 | 阀门 | AITON | ||
| 阀座 | VITON O-Ring | |||
| 阀盖 | VITON O-Ring | |||
| 风箱式胶囊 | AM-350 | |||
| 泄漏率 | 阀体，阀座 | ＜1 X 10-5 mbar.l/s | ||
| 压力范围 | 压力范围 | 1 X 10-5 mbar to 1.4 bar (abs) | ||
| 阀板上的差压 | ≤1.4 bar in either direction | |||
| 温度波纹管胶囊 | 阀体和阀门 | Stainless | ≤ 200°C | |
| Aluminum | ≤ 150°C | |||
| 驱动器 | ≤ 150°C | |||
| 位置传感器 | ≤ 80°C | |||
| 使用寿命和安装位置 | 使用寿命 | 1,000,000 Cycles | ||
| 开/关挪动 | 无震动 | |||
| 安装位置 | 任何位置 | |||
| 工作压力 | 压缩空气或 N2 | 4~7 kgf/cm2 | ||
| 位置指示器 | D-sub 9pin | DC24V,5~40mA | ||
营业执照
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