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Local Scrubber-等离子水洗式
等离子水洗式尾气处理设备是一个专门处理有毒性气体的废气处理系统，通过直流电源激发高纯N2，产生等离子体和高温，结合高温电浆分解与水溶解的过程，将制程所产生的废气经由反应室高温处理，反应成粉末或是溶解于水的物质
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产品说明
产品参数
等离子水洗式尾气处理设备是一个专门处理有毒性气体的废气处理系统，通过直流电源激发高纯N2，产生等离子体和高温，结合高温电浆分解与水溶解的过程，将制程所产生的废气经由反应室高温处理，反应成粉末或是溶解于水的物质，再经由过滤程序排放至厂务处理系统，所处理的陵气，包含大部份半导体厂及太阳能厂所使用的特气，如SIH4、NH3、B2H6、H2、PH3、CH4、NF3、TMB、 N2O 等。对于其他的易燃易爆气体，有毒气体和水溶性气体，等离子系列设备也有出色的处理效率，已通过市场证明。
适用行业:SEMI、SOLAR、LED 等。
| 工艺原理 | 等离子水洗 Plasma Wet |
| 设备型号 | SAPW-3000、SAPW-1500 |
| 处理能力 | 1000-3000 LPM |
| 设备尺寸 | 1200W*1200D*2000H mm |
| 设备重量 | 净重约 850kg |
| 电源规格 | AC380V,3Phase, 50Hz |
| 平均功率 | 8-10 KW |
| 应用工艺 | PECVD、CVD、ALD、PE-POLY、HJT |
营业执照
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