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Local Scrubber-电加热水洗式
电加热水洗式尾气处理设备的原理是通过电能加热，使制程中产生的废气(DCS、NO、SiH4、NH3、TEOS、SiF4、CH4、TEB、TEPO等)在反应腔室内进行高温分解。
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产品说明
产品参数
电加热水洗式尾气处理设备的原理是通过电能加热，使制程中产生的废气(DCS、NO、SiH4、NH3、TEOS、SiF4、CH4、TEB、TEPO等)在反应腔室内进行高温分解。该设备通过电热元件将电能转化为热能，使尾气的温度迅速升高。当尾气被加热到一定温度时，其中的有害物质开始分解，并经过水的吸附和溶解，使得尾气中的有害物质得到有效处理。优点:高效、环保、易于维护。电热元件具有较高的热效率，能够将电能转化为热能，使尾气的温度迅速升高。设备结构简单，易于维护和保养。
适用行业:SEMI、SOLAR、TFT、LED 等。
| 工艺原理 | 电加热水洗 Thermal Wet |
| 设备型号 | SATW-600 |
| 处理能力 | 600LPM |
| 设备尺寸 | 850*850*2100 mm |
| 设备重量 | 约 400 kg |
| 电源规格 | AC380V, 3Phase, 50Hz |
| 平均功率 | 8 kw |
| 应用工艺 | PECVD、CVD、ALD、PE-POLY |
| 反应式 | ||
| 废气入口 | SUS304(不锈钢),KF40 Flang2-4inlets 入口压力传感器:入口压力监测，范围±500mmH2O |
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| 加热章 | SUS316L(不锈钢) | |
| 冷却 | 气窗:防止堵塞粉尘,防腐受潮 聚四氟乙烯镀层(铁氟龙镀层):防腐 冷水槽:防止堵塞粉 |
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| 洗涤塔 | 循环水喷淋:处理水溶气体和粉末 PVC材质 |
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| 排气口 | NW100 ~ NW160flange 温度传感器:排气温度监测 压力应感器:监测排气压力,范围 ±500mmH2O 管端:防止水雾排放 |
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| 循环系统 | 循环泵:水从水箱循湿气塔,冷却室 水位传感器:漂浮式传感器(低低,低,高,高高) |
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| 排水系统 | 动力排水: 由排水泵和水位传感器排出水,用于溢出 排泄无法完成时 |
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| 控制与显示 | 彩色触摸屏 & PLC | |
营业执照
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