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产品说明
产品参数
•干式吸附式尾气处理设备原理是使目标气体经由特制的吸附剂过滤来实现处理目的。
•适用场所:半导体 Dry Etch,lon lmplantation,Cleaning Gas,Gas Room etc...
特长及特点:
效率极高，目标气体被处理后可达到零检出。
没有不可控的附产污染物产生，不产生二次污染，更彻底的。
动力消耗极低，更节约能源。
被动吸收，不浪费。
设备简单，维护简便，维护成本低，运行更稳定
| 工艺原理 | 干式吸附 Dry |
| 设备型号 | SADRY-50~200 |
| 处理能力 | 50~200 LPM |
| 设备尺寸 | 700*700*1600mm |
| 设备重量 | 约 200~400 kg |
| 电源规格 | AC380V, 10A |
| 平均功率 | 2 kw |
| 应用工艺 | 实验室、Gas Canister 吹扫及Implant 制程工艺等 |
营业执照
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