产品中心
Product Center
产品说明
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技术规格(阀） |
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项目 |
单位 |
规格 |
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阀门接口尺寸 |
mm (Φ) |
NW100， |
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外型尺寸 |
mm(W)×mm(H) |
179×443 |
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阀体尺寸 |
mm (Φ) |
158 |
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内部零件材质 |
阀体 |
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SUS316L |
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波纹管 |
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SUS316L |
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阀板 |
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SUS316L |
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法兰 |
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SUS316L |
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耐久性 |
x106次循环 |
1.5 |
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流导（N₂流量30SLM） |
L/s |
15,000 |
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重量 |
kg |
27 |
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密封O型圈材质 |
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FFKM（Kalrez, DUPRA等） |
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工作压力范围 |
Pa |
1.3×10-6 ~ 1.0×10⁵ |
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控制气压 |
MPa |
0.5±0.05 |
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全行程 |
mm |
44 |
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控制行程 |
mm |
40 |
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加热器 |
材料 |
内部 |
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SUS（筒式加热器） |
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外部 |
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PTFE 纤维 |
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加热环 |
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PTFE 纤维 |
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温控器设定 |
℃ |
250±10 |
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热电偶类型 |
类型 |
K |
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额定电压 |
VAC |
208 |
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最高温度 |
内部 |
℃ |
200 |
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外部 |
200 |
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加热环 |
200 |
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全开时间 |
sec |
<0.5 |
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全关时间 |
sec |
<0.5 |
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快关时间 |
sec |
<0.5 |
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阀座泄漏率 |
Pa·m³/s |
1.3×10⁻⁹ |
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技术规格（控制器） |
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项目 |
单位 |
规格 |
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外型尺寸 |
mm(W)×mm(D)×mm(H) |
311×141×72.5 |
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输入电源 |
VDC |
24±10% |
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控制方法 |
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PIDA |
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通信协议 |
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EtherCAT |
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真空计接口数 |
EA |
3 |
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连接器 |
电源 |
D-Sub DA-9（公头） |
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控制阀 |
D-Sub DA-25（公头） |
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压力传感器 |
3×D-Sub DA-15（母头） |
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远程I/O |
D-Sub DA-15（公头） |
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通信 |
2×RJ-45 |
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营业执照
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