产品中心
Product Center
产品说明
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型号：SABW-600 -采用天然气燃烧式的单腔设计，4个inlet可支持多个工艺连接，最大处理容量600slm |
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设计及性能 |
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1、全新系统设计 -独特的天然气燃烧反应腔，Bypass管路，出色的水循环系统 |
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2、燃烧反应腔 -热反应室把制程气体中的废气， 以及燃料和氧化剂，混合燃烧。 |
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3、安全性高 -完备的安全互锁系统及PLC安全互锁系统。 |
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4、低购置成本/经营成本 -优化系统结构布局，实现较小的占地面积。 |
- 技术参数
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燃烧水洗 |
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设备型号 |
SABW-600 |
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处理容量 |
600LPM |
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设备尺寸 |
850*850*1800 |
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设备重量 |
380kg |
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输入电源 |
380vAC, 3Phase, 50Hz |
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平均功率 |
- |
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应用工艺 |
PECVD、CVD、ALD、PE-POLY、LED |
营业执照
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