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产品说明
设备型号：SAPW-600D
技术参数
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等离子双腔水洗 |
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设备型号 |
SAPW-600D |
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处理容量 |
600LPM * 2 |
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设备尺寸 |
1600*850*1800 |
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设备重量 |
700kg |
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输入电源 |
380vAC, 3Phase, 50Hz |
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平均功率 |
15Kw |
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应用工艺 |
PECVD、CVD、ALD、PE-POLY、LED |
营业执照
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