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超高真空插板阀UHV

所属分类:

产品说明

项目

参数

驱动方式

手动 / 气动

尺寸

DN63 ... DN320

法兰类型

ISO JIS ASA CF

穿通器

焊接波纹管密封 或 密封圈密封

阀板密封

Viton O-Ring/Kalrez O-Ring/EPDM

阀盖密封

Viton O-Ring / Cu Gasket

响应时间

≤5s (DN63-DN100) ≤6s (DN120-DN200) ≤8s (DN250-DN320)

工作压力范围

DN63~200:1×E-10 mbar to 1600mbar

DN250~320:1×E-10 mbar to 1200mbar

开启压差

≤30mbar

阀板压差

DN63~200:≤1600 mbar

DN250~320:≤1200 mbar

泄漏率

阀体:<5×10¹ mbar l s¹

阀座:<1×10⁻⁹ mbar l s¹

首次维护前的循环次数

50,000

阀体温度

≤250℃

执行器温度

≤150℃

位置指示器温度

≤150℃

烘烤温度

≤200℃

材质

阀体:(SUS304/316L)

执行器:(6061-T651)

安装位置

任何

工作压力 (N2)

4-7 bar