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超高真空三位插板阀UHV

所属分类:

产品说明

项目

规格参数

驱动方式

手动 / 气动

尺寸

DN63 ... DN320

法兰类型

ISO,JIS,ASA,CF

穿通器

焊接波纹管型

阀板密封

Viton O-Ring/Kalrez O-Ring/EPDM

阀盖密封

Viton O-Ring

响应时间

≤1.5s (DN63-DN100),≤4s (DN120-DN200),≤6s (DN250-DN320)

工作压力范围

DN63-200:1×1E-10 mbar 至 1600mbar

DN250-320:1×1E-10 mbar 至 1200mbar

开启压差

≤30mbar

阀板压差

DN63-200:≤1600 mbar

DN250-320:≤1200 mbar

泄漏率

阀体:<5×10¹ mbar ls¹

阀座:<1×10⁻⁹ mbar ls¹

首次维护前的循环次数

50,000

阀体温度

≤200℃

执行器温度

≤60℃

烘烤温度

≤150℃

材质

阀体(不锈钢 304 或 316L)

执行器(6061-T651)

安装位置

任何

工作压力 (N2)

4~7 bar