驱动方式

气动双作用 L 型升降 + 平移执行器，可选单作用弹簧复位（失效安全型）

阀板通道（适配晶圆尺寸）

标准 SEMI 规格：46x236mm (适配 8 寸 / 200mm 晶圆)，50x336mm (适配 12 寸 / 300mm 晶圆)，支持非标定制

阀板密封形式与材质

标配 FKM 氟橡胶粘接式（Bonding）密封；可选 FKM 抽槽安装、FFKM 全氟醚橡胶密封、扣槽安装

静密封材质

阀盖：固定密封标配 FKM O 型圈，可选 FFKM O 型圈

动密封形式

焊接金属波纹管型（AM350/SUS316L 不锈钢材质）

执行器配置

双作用气动执行器，标配电气信号反馈

气源接口规格

Φ4 快插接口，标配带指示器的速度控制器

气缸容积

标准 8 寸 / 12 寸规格：0.25L

驱动气源要求

工作压力 0.4~0.7MPa (4~7bar)，推荐工作压力 0.55MPa (5.5bar)，最大允许过压：100psi (6.9bar)

启闭响应时间

开启≤1.0sec；关闭≤1.0sec

工作压力范围

1×10E-9 mbar to 1.1 Bar(abs)

阀板承压压差

关闭方向最大承压压差：1bar；开启方向最大承压压差：≤0.1bar (100mbar)；开启过程中最大允许压差：≤0.1bar

整体泄漏率（阀座 + 阀体）

氦质谱检漏泄漏率：<1×10⁻⁹ mbar・ls⁻¹

首次维护前循环寿命

≥200 万次

烘箱温度

阀体标配≤80℃、无电气件款铝合金 150℃/ 不锈钢≤200℃

主体材质

阀体 / 阀板：不锈钢 SUS 304/SUS 316L、AL6061 铝合金（硬质阳极氧化）/ 化学镀镍；波纹管组件：SUS 316L/AW350；运动机构：SUS 304 / 不锈铁

安装位置

任意方向

核心特性

无颗粒、无振动 L 型运动设计，适配半导体负载锁真空、大气隔离工况