驱动方式

气动双作用执行器，可选 3 位气动控制（中间定位款）

尺寸

DN100、DN150、DN200、DN250、DN300、DN400、DN500

法兰类型

ISO-F 固定法兰、CF 超高真空刀口法兰，可选 ISO-K 真空法兰

材质

阀体 / 阀板：AL 6061 铝合金、SUS 304/SUS 316L 不锈钢 运动机构：SUS 304/SUS 316L 不锈钢 密封件：标配 FKM 氟橡胶，可选 FFKM 全氟醚橡胶

工作压力范围

1×1E-8 mbar abs ~ 1200 mbar abs (1.2bar abs)

阀板最大承压压差

≤1200 mbar (1.2bar)，双向耐受

最低开启压差

≤30 mbar (0.03bar)

最高压力

1.2bar (abs)

流导 (Conductance)

DN100：≥10000 L/s DN200：≥35000 L/s DN400：≥90000 L/s

整体泄漏率

阀体氦质谱检漏泄漏率 < 1×10⁻⁹ mbar ls⁻¹

启闭时间

DN100-DN200：≤3s DN250-DN400：≤8s DN500：≤12s

首次维护前循环寿命

标准洁净工况≥1,000,000 次

驱动气源要求

工作压力范围：4~7 bar 推荐工作压力：5~6 bar

耐温性能

阀体耐温：铝合金阀体≤120℃，不锈钢阀体≤200℃ 执行器耐温：≤80℃ 位置指示器耐温：≤80℃ 标准电磁阀 / 电磁铁耐温：≤50℃ 烘烤温度：铝合金阀体≤120℃，不锈钢阀体≤200℃

控制与反馈配置

标配：二位五通电磁阀、机械视觉位置指示、双位置接近开关 / 光电开关反馈信号 可选：防爆型电磁阀 / 反馈装置、3 位气动控制模块

气缸容积

DN100-DN200：2.5L~5L DN250-DN400：5L~10L

参考重量

DN100：25~40kg DN200：60~90kg DN400：110~180kg

安装位置

任意方向，无安装方位限制

核心设计特性

1. 摆动式钟摆结构，无摩擦、无颗粒产生； 2. 分体式设计，支持在线维护，无需拆卸管道； 3. 紧凑结构设计，大幅节省安装空间； 4. 大流量、低流阻设计，适配大型真空系统