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Local Scrubber-大氢气专用尾气处理设备
处理氢气流量更大，单氢气可达 400/L，混合特气处理量达 600/L。等离子高温处理方式，温度可达 3000° 以上。
产品说明
| 介绍 | 详情 |
|---|---|
| 适用行业 | SEMI, TFT, SOLAR 等 |
| 特点 |
处理氢气流量更大，单腔氢气可达 400/L 维护成本低 |
| 适用工艺 | TF, DIFF, ETCH, IMP, EPI 等 |
营业执照
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