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Local Scrubber-等离子水洗式
<p><span style="line-height:2;"><span style="font-size:16px;">等离子水洗式尾气处理设备是一个专门处理有毒性气体的废气处理系统，通过直流电源激发高纯N<sub>2</sub>，产生等离子体和高温，结合高温电浆分解与水溶解的过程，将制程所产生的废气经由反应室高温处理，反应成粉末或是溶解于水的物质</span></span></p>
Local Scrubber-电加热水洗式
<p><span style="line-height:2;"><span style="font-size:16px;">电加热水洗式尾气处理设备的原理是通过电能加热，使制程中产生的废气(DCS、NO、SiH<sub>4</sub>、NH<sub>3</sub>、TEOS、SiF<sub>4</sub>、CH<sub>4</sub>、TEB、TEPO等)在反应腔室内进行高温分解。</span></span></p>
Local Scrubber-水洗式
水洗式尾气处理设备由柜体、透明PVC箱体、鲍尔环、循环水泵、管阀件等组成。其中PVC箱体下部为储水仓，上部处理区分成多个仓室，作为尾气洗涤区域。
Local Scrubber-干式吸附式
干式吸附式尾气处理设备原理是使目标气体经由特制的吸附剂过滤来实现处理目的。
蝶阀 非密封加热款
比例控制阀
APC组合阀
Local Scrubber-燃烧式水洗
采用天然气燃烧式的单腔设计，4个inlet可支持多个工艺连接，最大处理容量600slm
Local Scrubber-等离子双腔水洗
